MF5000系列氣體質量流量計是矽翔微機電系統有限公司結合微機電系統（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表，主要技術性能處于國際水平，具有高靈敏度、高、大量程比等特點；針對工業環境，融合了多種干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護方面也具有其的性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。應用領域：運用于化工、石油、天然氣、冶煉、熱加工等工業環境。兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護方面也具有其的性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。應用領域：運用于化工、石油、天然氣、冶煉、熱加工等工業環境
　　＊采用微機電系統芯片加工技術和大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大。
　　＊在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大。
　　＊傳感器點穩定度較之傳統熱式質量流量計有大的。
　　＊結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性好，實現了計量準確。
　　＊技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，大地降低了能源消耗。
　　＊采用LCD顯示“瞬時流量”和“累計流量”，清晰直觀，讀數方便。
　　＊產品融合了電磁兼容設計技術，具有更高干擾能力。
　　＊流量計帶有RS485通訊模塊，配合計算機網絡可實現集中管理。
　　＊可以選配4～20mA標準電流信號輸出。
　　＊度&plun;（1.5＋0.2FS）％
　　＊測量范圍 0.01～65m／sec
　　＊測量管徑 1～19 mm
　　＊使用環境溫度：-20～65
　　＊顯示瞬時流量；累計流量
　　＊輸出模式 4～20mA；RS485；RS232；0～5V；脈沖
　　＊校準條件 20oC；101.325 kPa.

其他說明

型號	通徑	接口
（inch）	L	H	W	d	a	b	c
MF5003	3	1／8"	85	124	35	Φ3	25	16	50
MF5006	6	1／4"	95	127	35	Φ6	25	18	50
MF5008	8	3／8"	105	134	35	Φ8	25	22	50
MF5012	12	1／2"	116	137	40	Φ12	30	25	50
MF5019	19	3／4"	152	149	40	Φ19	30	40	70

型號	通徑	接口
sccm	SLPM	SCFM	NCMH
MF5003	3	1／8"	3	15-1500	0.15-15
MF5006	6	1／4"	3		0.5-50	0.02-2	0.035-3.5
MF5008	8	3／8"	3		1.2-120	0.045-4.5	0.075-7.5
MF5012	12	1／2"	3		3-300	0.1-10	0.17-17
MF5019	19	3／4"	3		8-800	0.28-28	0.48-48