產品簡介
OWT-200才用PHYS技術，對透明、半透明、不透明幾乎的材料的厚度，TTV，LTV，彎曲度，平整度進行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高測量的性價比在同類測試儀器中是的。
產品特征
■無接觸傷測量
■高度及重復性
■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■干擾強，穩定性好
■強大的工控機控制和大屏幕顯示
■一體化設計操作更方便，系統穩定
■為晶圓硅片關鍵生產工藝提供的無接觸測量
■測試速度
技術指標
■測試尺寸：50mm-200mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
■厚度測試：＋/-0.1um
■厚度重復性：0.050um
■TTV 測試：＋/-0.1um
■TTV重復性：0.01um
■Warp/Bow：0.2um
■Warp/Bow重復度：0.5um
■測量時間：<100秒
■材料：透明、半透明、不透明幾乎的材料
■尺寸：560X650X400mm
■電源：220V 50Hz 300W
OWT-200才用PHYS技術，對透明、半透明、不透明幾乎的材料的厚度，TTV，LTV，彎曲度，平整度進行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高測量的性價比在同類測試儀器中是的。
產品特征
■無接觸傷測量
■高度及重復性
■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■干擾強，穩定性好
■強大的工控機控制和大屏幕顯示
■一體化設計操作更方便，系統穩定
■為晶圓硅片關鍵生產工藝提供的無接觸測量
■測試速度
技術指標
■測試尺寸：50mm-200mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um
■厚度測試：＋/-0.1um
■厚度重復性：0.050um
■TTV 測試：＋/-0.1um
■TTV重復性：0.01um
■Warp/Bow：0.2um
■Warp/Bow重復度：0.5um
■測量時間：<100秒
■材料：透明、半透明、不透明幾乎的材料
■尺寸：560X650X400mm
■電源：220V 50Hz 300W
