一、行業標準（JJG_28-2000）
二、產品技術規格：
平晶標準尺寸單位（mm）
規格
30mm
45mm
60mm
80mm
100mm
150mm
直徑
Φ30
Φ45
Φ60
Φ80
Φ100
Φ150
厚度
15mm
15mm
20mm
20mm
25mm
30mm
規格
200mm
250mm
300mm
400mm
500mm
600mm
直徑
Φ200
Φ250
Φ300
Φ400
Φ500
Φ600
厚度
40mm
45mm
45mm
45mm
50mm
50mm
三、按JJG_28-2000標準
1.平晶：1級
2.平面度誤差：
直徑 30mm~60mm 0.03μm
直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.06μm
直徑 300mm~600mm 0.08μm
（Webon 直徑300mm~600mm的平晶平面度誤差均可以做到0.03μm 國際水平）
3.平行度誤差：I級 0.6μm
4.平晶的材料：
檢驗標準（GB 903-1987無色光學玻璃）
5.平晶須放置在（20士5）℃和濕度不大于80%RH的檢定室內進行等溫，等溫時間不少于8h.
二、產品技術規格：
平晶標準尺寸單位（mm）
規格
30mm
45mm
60mm
80mm
100mm
150mm
直徑
Φ30
Φ45
Φ60
Φ80
Φ100
Φ150
厚度
15mm
15mm
20mm
20mm
25mm
30mm
規格
200mm
250mm
300mm
400mm
500mm
600mm
直徑
Φ200
Φ250
Φ300
Φ400
Φ500
Φ600
厚度
40mm
45mm
45mm
45mm
50mm
50mm
三、按JJG_28-2000標準
1.平晶：1級
2.平面度誤差：
直徑 30mm~60mm 0.03μm
直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.06μm
直徑 300mm~600mm 0.08μm
（Webon 直徑300mm~600mm的平晶平面度誤差均可以做到0.03μm 國際水平）
3.平行度誤差：I級 0.6μm
4.平晶的材料：
檢驗標準（GB 903-1987無色光學玻璃）
5.平晶須放置在（20士5）℃和濕度不大于80%RH的檢定室內進行等溫，等溫時間不少于8h.
