產品品牌：
PSI產品型號：
PSI-D
基本參數
詳細說明
普西工業提供手動探針臺針,廣泛應用于半導體、微電子、光電子、太陽能等領域 其產品包括： • 晶圓探針臺(Wafer Probe Station) • 射頻探針臺(RF Probe Station) • LCD/OLED大尺寸平板探針臺(LCD/OLED Probe Station) • 四探針臺（Four Point Probe Station,也稱：表面電阻探針臺） • 霍爾效應探針臺（Hall effect measurement system） • 變溫探針臺（高溫探針臺、低溫探針臺） • 環境可控型探針臺等型號 • PSI晶圓探針臺： • 載物臺尺寸： 4英寸、6英寸、8英寸可供選擇 • 載物臺位移： 快速移動(PSI 150 / PSI 200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm 精密調整(PSI 150 / PSI 200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm • 樣品臺旋轉角： 0 ~ 30 度 （可選精密調整） • 載物臺上/下范圍： 10mm • 真空吸盤：不銹鋼（可選加熱吸盤） • 漏電流低于300fA • 顯微鏡臺位移： 25mm X 25mm • 顯微鏡放大倍率： 30-2000倍 （可由客戶指定） • 探針座數量：2-12個(可選) • 尺寸： ( W / D / H ) PSI 150 : 580mm X 700mm X 700mm PSI 200 : 660mm X 660mm X 700mm 同時我們可以根據您的具體需求提供比的客制化產品。 可選磁性和真空以及機械安裝式. XYZ移動范圍：12mm 分辨率可至 1um 注:要求可根據用戶要求定制 • 重量 (PSI150 /PSI200 ) : 60kg / 80kg 可選配件： 1）低電流、低電容探針/電纜 2）RF探針/電纜 3）不同工作距離和放大倍率光學顯微鏡 4）變溫探針臺 5）真空腔 6）環境腔 一： 型號PSI-D-J4 （一）系統結構說明： • 簡述： 本探針系統可通過探針架及四軸平臺實現任意角度的調節，可擴展，探針數可根據用戶需求定制完成； • 特點: 系統結構穩定； 擴展 便于操控 適合在各種不同需求的研究領域中使用 （二）系統實物圖 （三）系統配置參數： 3.1 系統組成及組件：01.光學成像 02.視頻成像 03.觀測樣品移動部分 04.探針架 05.系統機械主體結構 06.樣品夾具 07.測量軟件 3.2 技術說明及參數：| . | 結構組成 | 數量（套） | 參數說明 | 功能說明 |
| 01 | 光學成像 【根據具體使用需求，可使用不同倍率光學鏡身做為成像主體，如：放大倍率視頻顯微系統、長工作距離變倍系統、激光微加工系統、高快速定位系統等 … 】 | 壹 | 立體顯微鏡 鏡筒： 45 °傾斜， 360 °旋轉；雙目觀察頭瞳距調節范圍： 54~75mm ；兩目鏡筒視度均可調節，調節范圍為± 5 屈光度； 標準的 C 接口可連接 CCD 成像設備； 目鏡：使用高眼點廣角目鏡，為佩帶眼鏡的觀察者提供方便 ； 物鏡： 0.7X~4.5X 的連續變倍物鏡，像面齊焦性；放大范圍：在 3.5X~180X 之間，連續變倍 ； 工作距離： 30mm~165mm ，長的工作距離，為使用者提供更大的工作空間 ； 光源：電照明系統種類多樣，內置熒光燈、鹵素燈照明和外置環形熒光燈、鹵素燈照明 | 通過光學成像原理，對所觀測樣品進行光學放大，使其微觀觀察，為探針系統視覺部分提供成像 |
| 02 | 視頻成像 【根據需求選配 CCD 或 C-MOS 芯片】 | 壹 | CCD 成像設備 數字處理彩色頭 * 拾取設備： 1/3" IT CCD * 總像素： 811(H) × 508(V) (NTSC);795(H) × 596(V) (PAL) * 像素： 768(H) × 494(V) (NTSC); 752(H) × 582(V) (PAL) * 同步系統：內部信號 * 視頻輸出： Composite × 1, Y/C × 1 * 水平分辨率： Composite:450TVL; Y/C:480TVL * 小照度： 0.1Lux at F1.2 * 信躁比： 50dB (AGC OFF) * 電子快門： E1-1(1/60~1/10000 秒 NTSC); E1-1(1/50~1/10000 秒 PAL); E1-2(1/100~1/10000 秒 ) * 白平衡：自動 / 預設 * 鏡頭接口： C-Mount | 基于光學成像部分，通過數字傳感器將目鏡觀察的光學成像轉換成視頻成像到電腦或器上，可以減少目鏡觀察的視覺疲勞，使工作效率； |
| 03 | 觀測樣品移動部分 【平臺尺寸根據需求定制，可選：自動控制平移臺，可采用高伺服控制系統】 | 壹 | 四軸樣品移動臺 ( 手動 ) | 在通過 X 、 Y 、 Z 以及旋轉的四方向移動，為顯微觀察部分提供一個可觀察的環境； |
| 04 | 探針架 【可選多種探針架】 | 壹 | 實現顯微操作等功能 | 實現探針的 X 、 Y 、 Z 的三軸操作和仰角調節等功能。配合光學平臺使用，可實現各種角度的調節； |
| 05 | 系統機械主體結構 | 壹 | 05.1 600*800 光學平臺 05.2 顯微鏡支撐架 05.3 Z 軸調節裝置 調焦機構：調焦手輪， Z 軸升降 05.4 探針架去撐配件 | 整個系統機械主體結構穩定，光學顯微鏡，四軸樣品移動臺等均安裝在上面 ; |
| 06 | 樣品夾具 | 壹 | 根據現場實驗需求定制完成 | 根據現場實驗需求定制完成 |
| 07 | 測量軟件 | Microscope Partner 測量軟件 | 1. 可動態 / 靜態對顯微圖像進行分析測量，操作快捷 2. 軟件包含了顯微測量、視頻處理、圖像處理三大功能模塊 3. 采用數字圖像處理算法，具有二維標定功能，水平、垂直方向分別標定，減小標定誤差；標定倍率標識由用戶自己定義 4. 線、圓、矩形、多邊形、角度等測量工具，對圖像上兩點距離、線段長度、線距、圓半徑直徑、面積、角度、矩形、橢圓、折線、多邊形、點線、平行線距的等幾何參數進行測量。圖像庫瀏覽、圖像標注、文字操作、打印等功能實現；測量圖片可存為 bmp 、 jpg 格式；將檢測以 word 、 excel 的文檔格式進行輸出。 | 軟件測量提供各種尺寸的測理結果，生成，方便存儲； |
