在很多純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的對于過程處理的正常運作。一直以來，對的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當的方案，用來在線測量值，下限的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻傳感器生產和校驗的經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業和純氣體應用的位變送器。
亮點
- 測量下限 -120°C (1 ppbV)
- 測量穩定，重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
技術指標 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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