ANT130-L系列納米平移臺
1.實現大行程納米定位
2.高分辨率(1納米),重復定位(75納米),定位(250納米)
3.1納米的位置穩定性
4.爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態特性
6.8種行程和范圍可選

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ANT130-L系列納米平移臺
1.實現大行程納米定位
2.高分辨率(1納米),重復定位(75納米),定位(250納米)
3.1納米的位置穩定性
4.爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態特性
6.8種行程和范圍可選