儀器簡介：
Dektak 8臺階式探針輪廓儀，結構緊湊，可提供很高的重復性和。獨特的X–Y方向定位系統可移動到8 x 8 inch區域的任何位置。它不僅能測量臺階高度和表面紋理，還能測量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點高度、纖維光學元件和顯微透鏡。全程程序控制的Dektak 8系統對于MEMS，納米技術和半導體應用都非常方便。
技術參數：
技術參數
臺階高度重復性: 7.5Å,1σ在1um標準臺階上
晶圓尺寸：200mm
樣品厚度：25.4mm （1 in.)
每次掃描數據點：多可達60，000數據點
掃描長度范圍：標配50mm
垂直范圍：標配262um；可選1mm
垂直分辨率：1Å (6.55微米垂直范圍下）
主要特點：
1. 臺階高度測量重復性高
2. 是功能為強大的探針輪廓儀，可限度的滿足各種應用需要
3. 簡單易用
4. 作為一款桌面型輪廓儀，掃描范圍可達200mm
