EM-30臺式掃描電鏡擁有EM-20型特征以外,加速電壓調節范圍擴展到30KV,先對于選配EDS的用戶,分析能力獲,其次獲得更高電子光學分辨能力,放大倍數進一步。另外EM-30樣品臺增加了馬達驅動傾斜臺,由酷塞目[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作,不但可實現立體對觀察,而且通過對樣品臺精細地調節角度,可使用樣品室SE探測器獲得良好的背散射電子圖像。
技術指標:
分辨率:5nm@30kv SEI
電子:發叉式鎢絲陰,預對中燈絲
放大倍數:X20 to X100,000
加速電壓:1kV to 30kV
探測器:SE Detector,EDS/BSE(可選)
真空系統:全自動渦輪分子泵系統,高真空時間小于3分鐘
樣品臺:X axis:35mm(馬達驅動)
Y axis:35mm(馬達驅動)
T axis:0~45°(馬達驅動)
Z axis:5-50mm
R axis:360度
樣品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter)
視頻采集分辨率(Pixel):選區(320x240),TV(640x480),Slow(800x600),Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840)
幀頻:選區(Max.30 frames/sec),
TV(Max.10 frames/sec)
Slow(Max.2 frames/sec)
自動功能:一鍵成像,自動燈絲飽和,自動聚焦,自動亮度對比度
計算機操作系統:Windows 7
操作方式:鍵盤/鼠標,全觸摸屏操作(可選)
外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm
重量:80kg







