產品簡介
大型樣品室，分析型物鏡，可同時接配EDS/WDS/EBSD，在觀察精細形貌同時，做化學成分和晶體結構定性定量分析。渦輪分子泵真空系統，操作維護簡單方便。
CX-200TM標配SE探測器，觀察表面精細形貌形態；可選配BSE探測器，觀察材料成分反差像，同時可擴展低真空觀察模式，非導電樣品可直接觀察；可選配全套的X射線微區分析附件（EDS、WDS，EBSD）原位實現化學成分定性定量，及微區晶體結構定性定量分析。
技術參數：
分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI）
4.0nm（30kV，BSEI）
放大倍數：10x~300，000x
加速電壓 0.5kV~30kV
樣品室：內徑φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS EBSD等分析附件。
樣品臺及行程：五軸樣品臺，Z軸為自動，其余手動
X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360°
樣品尺寸：160mm（直徑）X 71mm（高度） 真空系統：帶護的自動高真空系統，渦輪分子泵260升/秒＋旋片式機械泵100L/min
真空度實時顯示。
高真空：樣品室處真空度7.5x10-5 Torr，
低真空：樣品室 1-270Pa
大型樣品室，分析型物鏡，可同時接配EDS/WDS/EBSD，在觀察精細形貌同時，做化學成分和晶體結構定性定量分析。渦輪分子泵真空系統，操作維護簡單方便。
CX-200TM標配SE探測器，觀察表面精細形貌形態；可選配BSE探測器，觀察材料成分反差像，同時可擴展低真空觀察模式，非導電樣品可直接觀察；可選配全套的X射線微區分析附件（EDS、WDS，EBSD）原位實現化學成分定性定量，及微區晶體結構定性定量分析。
技術參數：
分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI）
4.0nm（30kV，BSEI）
放大倍數：10x~300，000x
加速電壓 0.5kV~30kV
樣品室：內徑φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS EBSD等分析附件。
樣品臺及行程：五軸樣品臺，Z軸為自動，其余手動
X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360°
樣品尺寸：160mm（直徑）X 71mm（高度） 真空系統：帶護的自動高真空系統，渦輪分子泵260升/秒＋旋片式機械泵100L/min
真空度實時顯示。
高真空：樣品室處真空度7.5x10-5 Torr，
低真空：樣品室 1-270Pa
