C09渦輪分子泵系列
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升／秒，限真空度為＜10-10mbar。
其主要特點(diǎn)為：
◆陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
◆允許任意角度安裝。
◆有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
◆對(duì)H2的壓縮比大。
◆無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的真空。
TW系列復(fù)合分子泵
抽速：70～1600升／秒
限真空度：10－9mbar
允許前級(jí)壓強(qiáng)：6～14mbar
主要特點(diǎn)有：
◆轉(zhuǎn)子葉片為成型，消除了葉片應(yīng)力，使得前級(jí)耐壓14mbar，并能短暫的大氣沖擊。
◆的風(fēng)冷系統(tǒng)，使其在大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
◆變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì)，避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
◆模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
◆結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
◆可以任意角度安裝。
◆螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
◆軸承為油脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
◆無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和真空。
◆可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
◆通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦，PC或PLC聯(lián)絡(luò)，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄；并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改，如頻率等。
◆高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。
新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C／，MAG2000C／，MAG2200C／，MAG 2800C／，MAG 3200C／
抽速：1500l／s～3200l／s
●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無(wú)油，耐粉塵、氣流沖擊。
●轉(zhuǎn)子采用度鋁合金，銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可120℃。
●轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
●較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的腐蝕性能，適用于抽除腐蝕的工藝氣體；
●降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命；
●葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
●保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長(zhǎng)（＞600次），無(wú)需更換保護(hù)軸承。
●高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障。
●智能化電源，無(wú)需UPS。
●帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在2mbar以上。
●分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
●的數(shù)字控制技術(shù)
●運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
●運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá)180條運(yùn)行信息；
●磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
●轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
●在氣流長(zhǎng)時(shí)間（2分鐘以上）過(guò)大，而使泵負(fù)載過(guò)高，發(fā)熱量過(guò)大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
●控制器與泵無(wú)識(shí)別性，可互換。
●免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
●半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
●科研領(lǐng)域
●鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG 1000。
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升／秒，限真空度為＜10-10mbar。
其主要特點(diǎn)為：
◆陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
◆允許任意角度安裝。
◆有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
◆對(duì)H2的壓縮比大。
◆無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的真空。
TW系列復(fù)合分子泵
抽速：70～1600升／秒
限真空度：10－9mbar
允許前級(jí)壓強(qiáng)：6～14mbar
主要特點(diǎn)有：
◆轉(zhuǎn)子葉片為成型，消除了葉片應(yīng)力，使得前級(jí)耐壓14mbar，并能短暫的大氣沖擊。
◆的風(fēng)冷系統(tǒng)，使其在大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
◆變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì)，避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
◆模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
◆結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
◆可以任意角度安裝。
◆螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
◆軸承為油脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
◆無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和真空。
◆可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
◆通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦，PC或PLC聯(lián)絡(luò)，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄；并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改，如頻率等。
◆高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。
新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C／，MAG2000C／，MAG2200C／，MAG 2800C／，MAG 3200C／
抽速：1500l／s～3200l／s
●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無(wú)油，耐粉塵、氣流沖擊。
●轉(zhuǎn)子采用度鋁合金，銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可120℃。
●轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
●較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的腐蝕性能，適用于抽除腐蝕的工藝氣體；
●降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命；
●葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
●保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長(zhǎng)（＞600次），無(wú)需更換保護(hù)軸承。
●高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障。
●智能化電源，無(wú)需UPS。
●帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在2mbar以上。
●分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
●的數(shù)字控制技術(shù)
●運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
●運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá)180條運(yùn)行信息；
●磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
●轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
●在氣流長(zhǎng)時(shí)間（2分鐘以上）過(guò)大，而使泵負(fù)載過(guò)高，發(fā)熱量過(guò)大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
●控制器與泵無(wú)識(shí)別性，可互換。
●免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
●半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
●科研領(lǐng)域
●鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG 1000。
