適用領域：
氟油檢漏設備是與氦質譜檢漏儀配套使用的，針對半導體、電子元器件進行密封性、性檢漏的設備，能完成G548-96標準和GI128A-97標準中，對半導體器件件進行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。
結構組成：抽真空系統、加壓系統、氟油檢漏系統。
技術指標：
真空度≤100PA
充氦壓力：0.2～1.0Mpa
指示液（F43）溫度：125&plun;5℃
保壓時間：1～10h
加壓系統可根據被檢元器件尺寸設計。
產品規格：主要分為手動、半自動、全自動等。
氟油檢漏設備是與氦質譜檢漏儀配套使用的，針對半導體、電子元器件進行密封性、性檢漏的設備，能完成G548-96標準和GI128A-97標準中，對半導體器件件進行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求。
結構組成：抽真空系統、加壓系統、氟油檢漏系統。
技術指標：
真空度≤100PA
充氦壓力：0.2～1.0Mpa
指示液（F43）溫度：125&plun;5℃
保壓時間：1～10h
加壓系統可根據被檢元器件尺寸設計。
產品規格：主要分為手動、半自動、全自動等。
