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HVPE 法單晶生長設(shè)備 —臥式


所屬分類:

晶體生長設(shè)備

HVPE法單晶生長設(shè)備


概要:

適用領(lǐng)域:單晶生長、外延生長 Relevant Industries: Single Crystal Growth, Epitaxial Growth 適用材料: ?GaN(單晶)、AIN(單晶/外延)、Ga2O3(外延) Suitable for Processing: GaN (single crystal),AlN (single crystal / epitaxial)Ga2O3 (epitaxial) 晶圓尺寸:? 8/6 英寸 Wafer Size: 8/6? inch


關(guān)鍵詞:

HVPE外延爐——臥式



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