NA MASTER(那諾-馬斯特)提供的雙蒸發源系統支持標準坩堝,用于和金屬材料的熱蒸發。設計充分考慮清潔、均勻度、可控性、可重復性、小占地面積,持續性控制加熱器電流。型號包含NTE-3000,NTE-4000。
熱蒸鍍系統
NA-MASTER(那諾-馬斯特) NTE-3000是一款PC計算機控制的臺式熱蒸發系統,在物和金屬沉積方面具有廣泛的應用。設備的設計經過慎重的考慮:在小的占地面積情況下實現干凈、均勻、可控及可重復的工藝過程。它們具有格, 以及力的特點,可滿足于客戶研發及小規模生產的應用要求。 NTE-3000熱蒸發系統可以在設定的RMS電流下,或者在閉環的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調節RMS電流以維持恒定的沉積速度。
NTE-4000是一個式熱蒸發系統,提供更多的空間可用于支持額外的能力,如共蒸發、雙蒸發以及濺射等。
產品特點:
可支持7”的方片或200mm的晶圓片
沉積速度可控
旋轉的樣品臺
雙坩堝或舟
2KVA SRC控制電源
晶振式膜厚監測儀
通過LabView軟件實現PC計算機控制
產品型號:
NTE-4000:基于PC計算機全自動控制的系統
NTE-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型系統
NTE-3000:基于PC計算機全自動控制的雙蒸發源臺式系統
NTE-1000:計算機控制的單蒸發源臺式系統
帶遮板的雙坩堝源









